
TABLE OF CONTENTS
B–70115EN/03
c–3
9. SETTING AND ADJUSTMENT 232. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.1 LASER POWER SUPPLY UNIT 233. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.1.1 Checking before Adjustment, and Setting 233. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.1.2 Base Discharge Adjustment 235. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.1.2.1 C1500B (without a trigger electrode) (step 1) 235. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.1.2.2 C2000B (step 1) 235. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.1.2.3 C3000C (step 1) 236. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.1.2.4 C2000B, C3000C (step 2) 236. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.1.2.5 C6000B 236. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.1.2.6 C1500B (with a trigger electrode), C2000C, C3000D 238. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.1.2.7 C4000A 238. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.1.3 Maximum Output Adjustment 240. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.1.4 Fine Adjustment of VR11 and VR13 240. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.1.5 Pulse Output Test 241. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.1.6 Completion of Adjustment 241. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.1.7 Alarm Level of Laser PSU 243. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.2 TURBO PCB 245. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.3 HIGH–FREQUENCY INVERTER 248. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.3.1 Adjusting the Inverter (A90L–0001–0382/C: Model Name: HFC–VAH2) 248. . . . . . . . . . . . . . .
9.3.2 Adjusting the Inverter (A90L–0001–0464/CE and 0465/CE: Model Name: JH300) 251. . . . . . .
9.4 PRESSURE CONTROL UNIT 258. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.4.1 Setting the Gas Supply Pressure Sensor 258. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.4.2 Setting the Atmospheric Pressure Sensor 258. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.5 ADJUSTING THE EXHAUST CONTROL UNIT
(ADJUSTING THE LASER GAS CONSUMPTION) 260. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.6 SETTING THE POWER INPUT COMPENSATION COEFFICIENT 261. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.7 WATER FLOW SENSOR 262. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.7.1 Adjusting the Water Flow Sensor for C1500B, C2000B, and C3000C 262. . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.7.2 Adjusting the Flow Sensor of the C2000C, C3000D, C4000A, and C6000B 264. . . . . . . . . . . . .
9.8 DISCHARGE AGING 265. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
10. REPLACEMENT PROCEDURES 272. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
10.1 INPUT UNIT 273. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
10.1.1 Replacing the Stabilized Power Supply 273. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
10.1.2 Replacing the Input Unit Control PCB 273. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
10.1.3 Replacing the FS0–L Interface PCB (A16B–1110–0223) on the Oscillator Side 273. . . . . . . . . .
10.1.4 Replacing the FS16–L, FS16i–L Interface PCBs on the Oscillator Side 274. . . . . . . . . . . . . . . . .
10.2 REPLACING THE LASER POWER SUPPLY 276. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
10.3 REPLACING THE MATCHING BOX 288. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
10.4 REPLACING THE TURBO BLOWER 289. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
10.5 REPLACING THE TURBO PCB 292. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
10.6 REPLACING INTERMEDIATE PCB B 292. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
10.7 REPLACING THE EXHAUST PUMP 293. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
10.8 REPLACING THE PRESSURE CONTROL UNIT 295. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
10.9 REPLACING THE EXHAUST CONTROL UNIT 296. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
10.10 REPLACING A DISCHARGE TUBE 299. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
10.11 REPLACING A FAN UNIT 300. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .